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標題: 一种新型光刻胶技术初步验证 [打印本頁]

作者: 雷克儿 時間: 2024-6-14 21:51
標題: 一种新型光刻胶技术初步验证
通过巧妙的化学结构设计，以两种光敏单元构建“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”，最终得到光刻图像形貌与线边缘粗糙度优良、space图案宽度值正态分布标准差（SD）极小（约为0.05）、性能优于大多数商用光刻胶，且光刻显影各步骤所需时间完全符合半导体量产制造中对吞吐量和生产效率的需求。

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